有機廢氣通過引風機進入蓄熱室 1 吸熱，升溫后進入焚燒室中進一步加熱，使有機廢氣持續升溫直至有機成分徹底分解成CO2和H2O。由于廢氣在升溫過程中利用了蓄熱體回收的熱量，所以燃料消耗較少。廢氣經處理后離開燃燒室，進入蓄熱室 2 釋放熱量后排放，而蓄熱室 2 的蓄熱體吸熱后用于下個循環，加熱新輸入的低溫廢氣。



與此同時，引入部分凈化后的氣體對蓄熱室 3 進行吹掃以備進行下一輪熱交換。該過程全部完成后切換進氣和出氣閥門，氣體由蓄熱室 2 進入，蓄熱室 3 排出，蓄熱室 1 進行吹掃；再接下來的循環則切換為由蓄熱室 3 進入，蓄熱室 1 排出，蓄熱室 2 進行吹掃，如此交替切換持續運行。此外，為了提高熱能利用率還可在RTO焚燒爐后設置換熱器加強余熱利用。